超純水過濾

超純/DI水在整個半導體制造過程中大量使用。多年來,去離子水的質量標准越來越嚴格,過濾技術已經發展到可以滿足這些要求。
 
用于生産超純水的超純水機過濾器必須做到以下幾點:
具有低含量的可提取物,因此過濾器不會將汙染物引入水系統
用**少的水流冲洗**18兆欧厘米电阻率和单位数字ppb TOC
**終濾波器必須進行完整性測試/測試,以確保達到規定的微米級別的性能
從一批到另一批一致地執行
即使差壓增加並且不會掉落任何介質,也必須保留捕獲的汙染物
在幹淨的環境或潔淨室內生産